3d輪廓掃描儀是一款集成表面粗糙度和輪廓測量的測量儀器，采用進(jìn)口高精度光柵測量系統(tǒng)建立工件表面輪廓的二維坐標(biāo)，計算機(jī)通過修正算法對光柵數(shù)據(jù)進(jìn)行修正，終還原出工件輪廓信息、粗糙度信息并以曲線圖顯示出來，通過軟件提供的分析工具可對輪廓、粗糙度進(jìn)行各種參數(shù)分析。

　　3d輪廓掃描儀高精度、高穩(wěn)定性、高重復(fù)性，滿足被測件測量精度要求。選用高精度光柵測量系統(tǒng)和高精度電感測量系統(tǒng)，測量精度高；自主研發(fā)高精度研磨導(dǎo)軌系統(tǒng)，導(dǎo)軌材料耐磨性好、保證系統(tǒng)穩(wěn)定可靠工作；高性能直線電機(jī)驅(qū)動系統(tǒng)，保證測量穩(wěn)定性高、重復(fù)性好。

　　3d輪廓掃描儀的性能特點：

　　1、同時能測量表面粗糙度和輪廓形狀

　　共用主體，只需切換不同模塊，可對產(chǎn)品進(jìn)行輪廓形狀測量和微觀粗糙度測量。

　　2、可進(jìn)行多參數(shù)評定

　　粗糙度可依據(jù)不同標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行自動評價，包含Ra,Rp,Rv,Rz,Rt,Rmax,Rq,Rsk,Rku,RSm,RPc,Rdq,Rdc,Rmr及P參數(shù)、W參數(shù)、Motif參數(shù)、Rcore核心參數(shù)等多參數(shù)評定。

　　3、厚度參數(shù)測量

　　粗糙度參數(shù)測量的同時可同時測量600微米以內(nèi)的一些薄膜臺階高度、厚度尺寸，測量方便，精度控制在2%H（H，測量總高度）以內(nèi)，特別適合高精度且不能有刮傷的測量場合。

　　4、測量力系統(tǒng)：

　　采用音圈電機(jī)測力系統(tǒng)，測力可實現(xiàn)從10～150mN連續(xù)可調(diào)，測力分辨力可達(dá)0.2mN；避免了老式砝碼加載因周圍環(huán)境振動帶來的測力誤差，降低了測力變化引起的測量誤差。

　　5、智能保護(hù)系統(tǒng)：

　　儀器在各個方向都有進(jìn)行硬件及軟件保護(hù)，能有效的保護(hù)儀器主機(jī)及測針，降低人員因操作失誤帶來的測針及儀器損傷。

　　6、靈活手動控制：

　　儀儀器配置了特殊分離式操作桿，操作桿在儀器操作移動時，可放置在任何位置控制操作，在測量工件前對測針進(jìn)行粗定位；在脫離電腦的情況下，操作桿具備左右/上下移動測針、急停、測桿上下角度擺動及速度分多級調(diào)節(jié)功能。