激光干涉原理

激光干涉儀

除了環(huán)境適應(yīng)能力好，激光干涉儀還可以進(jìn)行動(dòng)態(tài)高速測量，選配相應(yīng)的功能模塊元件后還可以測量振動(dòng)幅度、平面度、線速度、角速度等。中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)SJ6000激光干涉儀量程精度高。

產(chǎn)品參數(shù)

測量分辨力：1nm

動(dòng)態(tài)采集頻率：50KHz

預(yù)熱時(shí)間：≤6分鐘

工作溫度范圍：（0-40）℃

環(huán)境溫度范圍：（0-40）℃，環(huán)境濕度：0-95%

主要特點(diǎn)：應(yīng)用范圍廣、測量精度高、操作方便

SJ6000激光干涉儀量程精度

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

線性測量精度：0.5ppm（0-40）℃

線性測量距離：（0-80）m（無需遠(yuǎn)距離線性附件）

角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

產(chǎn)品特點(diǎn)

SJ6000激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體：

采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；

采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達(dá)50000小時(shí)；

采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；

采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；

采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù)，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒獭⒑啙嵒挠涗浌芾怼?/span>

應(yīng)用領(lǐng)域

SJ6000激光干涉儀以光波為載體，其光波波長可以直接對米進(jìn)行定義，是高精度、高靈敏度測量儀器，廣泛應(yīng)用于精密機(jī)械設(shè)備、精密檢測儀器、三坐標(biāo)、機(jī)器人、3D打印設(shè)備、機(jī)床、自動(dòng)化設(shè)備、線性位移平臺等領(lǐng)域的線性測量。

測量機(jī)床回轉(zhuǎn)軸精度

測量機(jī)床偏擺角度

數(shù)控機(jī)床精度校準(zhǔn)

深圳中圖儀器堅(jiān)持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ)，致力于精密測量、計(jì)量檢測等儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。未來，中圖儀器將繼續(xù)專注于精密測量技術(shù)的發(fā)展，知難而上、勇于創(chuàng)新！