SuperViewW1非接觸3d光學(xué)輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)，所具有技術(shù)競爭力在于接觸式和光學(xué)三維輪廓儀的結(jié)合。主要是用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有測量晶圓翹曲度的功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應(yīng)變測量以及表面形貌測量。

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號：SuperView W1系列

產(chǎn)品名稱：光學(xué)3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng)：100萬～400萬像素可選

干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）

XY平臺：行程140X100mm、200X200mm、300X300mm可選   尺寸 320X200mm、300X300mm、450X450mm可選

Z軸行程：100mm，電動

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

可測樣品反射率：0.05%-100

水平調(diào)整范圍：±2°、±5°、±6°可選

粗糙度RMS重復(fù)性：0.005nm

臺階高測量：準(zhǔn)確度0.3%，重復(fù)性0.08% 1σ

主要特點(diǎn)：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快

生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

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SuperViewW1非接觸3d光學(xué)輪廓儀可以同時有探針掃描和樣品臺掃描兩種模式。探針掃描利用電壓驅(qū)動探針在大范圍達(dá)到500x500微米的區(qū)域內(nèi)移動并且產(chǎn)生*分辨率的圖像。樣品臺掃描則是移動樣品臺來產(chǎn)生高分辨率的圖像。只需要一鍵，就可以切換兩種模式?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

主要應(yīng)用領(lǐng)域

1、用于太陽能電池測量；

2、用于半導(dǎo)體晶圓測量；

3、用于鍍膜玻璃的平整度（Flatness)測量；

4、用于機(jī)械部件的計量；

5、用于塑料，金屬和其他復(fù)合型材料工件的測量。