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SuperView W3三維白光干涉形貌儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的平整度、粗糙度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器白光干涉儀可以設(shè)置分析模板，提供多文件分析、一鍵分析等輔助分析功能，結(jié)合測量中提供的自動測量和批量測量功能，可實現(xiàn)對精密工件微觀形貌的批量測量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能。

中圖儀器的SuperView W1三維白光形貌干涉儀一體化操作的測量與分析軟件，提供調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能，自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能，可實現(xiàn)批量測量功能。能真實地反映零件表面的特征以及衡量表面的質(zhì)量。