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中圖儀器SuperViewW白光干涉儀摩擦磨損形貌檢測儀非接觸式掃描測量各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SuperViewW1白光干涉3D顯微檢測儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器SuperViewW白光干涉儀測量粗糙度設(shè)備以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器SuperViewW1白光干涉光學(xué)3D表面形貌輪廓儀利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)，能以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能；提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能.

中圖儀器SuperViewW科研級三維白光干涉儀基于白光干涉原理，用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器SuperViewW光學(xué)平面度檢測設(shè)備是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

中圖儀器SuperViewW國產(chǎn)3D白光干涉儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。

除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，SuperViewW1國產(chǎn)自研白光形貌干涉儀具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應(yīng)變測量以及表面形貌測量。