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?SJ6000便攜式激光干涉儀通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。

SJ6800激光干涉儀國產(chǎn)品牌測量分辨率0.01″，系統(tǒng)測量精度為±1″，基準(zhǔn)WR50自動精密轉(zhuǎn)臺重復(fù)精度為0.2″。主要特點(diǎn)是小巧便攜、功能強(qiáng)、無線操作。具有測量精度高、測量速度快、*高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。

以激光干涉技術(shù)為核心，SJ6000激光干涉儀機(jī)床精度測試的分辨率可達(dá)納米級。有測量機(jī)床回轉(zhuǎn)軸精度、直線度、線性、運(yùn)動導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、定位精度、垂直度等檢測功能，且可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表，滿足機(jī)床誤差修正的要求。

中圖儀器的國產(chǎn)sj6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)平行度、線性測長、直線度、垂直度、角度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態(tài)測量軟件配合下，還可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

SJ6000激光干涉儀量程精度高，可以棄普通車間進(jìn)行應(yīng)用，環(huán)境適應(yīng)能力強(qiáng)，同時(shí)可進(jìn)行動態(tài)高速測量，配以相應(yīng)元件后還可以測量線速度、角度、平面度、振動幅度及速度等。

SJ6000機(jī)床設(shè)備激光干涉儀品牌以光波為載體，其光波波長直接對米進(jìn)行定義，廣泛應(yīng)用于機(jī)床、精密機(jī)械設(shè)備、3D打印設(shè)備、自動化設(shè)備、三坐標(biāo)、機(jī)器人、線性位移平臺、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線性測量，是高精度、高靈敏度測量儀器。

精密激光干涉儀具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。

國產(chǎn)激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達(dá)50000小時(shí)；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；